二手 CRESSINGTON 108 Auto #293768241 待售

製造商
CRESSINGTON
模型
108 Auto
ID: 293768241
Sputter coater.
CRESSINGTON 108Auto是为晶片和其他基材的精确且可重现的加工而开发的光阻设备。它旨在处理各种光敏沉积和加工操作。该系统配有低温热蒸发器,允许在基板上均匀涂覆光刻胶。它采用了高精度的平面喷嘴模块,以确保光刻胶在整个基板上的均匀分布。该单元可以在单模块和多模块配置中工作,分别有8个或16个喷嘴模块。108Auto在开发过程中提供精确的温度和压力控制,以确保重复性和准确性。它配备了易于使用的图形用户界面(GUI),用于编程、监视和执行作业。该机器还包括用于对齐特征、成像和胶片评估的软件工具。这样可以确保该过程在底物和运行之间是一致的。对于分配过程,CRESSINGTON 108Auto配备了真空光刻胶分配(VPD)选项。这允许精确和可重复的照片抵抗加载和分配。该工具还可以安装晶片蚀刻选项,从而能够在晶片表面上蚀刻光刻胶。此外,晶圆清洗模块选项允许在此过程中清除不需要的残留物。108Auto设计用于标准清洁环境,符合5类100/ISO要求。由于其直观的设计、符合人体工程学的布局和先进的安全功能,它需要最少的操作员培训,并提供更好的用户安全性。该资产符合广泛的行业标准,并且与SEMI Standard 300 mm工厂接口规范兼容。总体而言,CRESSINGTON 108Auto模型为复杂光敏结构的精确沉积和开发提供了可靠、坚固和用户友好的平台。它是生产需要精密加工的晶片和基材的理想选择。
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