二手 DAN SCIENCE ASL-7500A #9396567 待售

DAN SCIENCE ASL-7500A是为二氧化硅（SODS）材料蚀刻而设计的最先进的光刻设备。该系统使用400 nm波长的激光器处理薄膜材料,形成均匀、高分辨率的蚀刻图样,蚀刻速率高达6um/sec。ASL-7500A是一台可靠、精确的机器,总工作面积为24x24英寸,激光光斑大小为10um。该单元能够产生5 um和3 um的临界线定义。DAN SCIENCE ASL-7500A采用了一些最先进的光刻技术,从而在创建复杂设备时实现了最大精度和精确度。该机器利用先进的3级自动轨道精确定位光头。该跟踪工具的带宽可达100MHz，能够将激光精确定位到亚微米级。激光光束数据接口（LBDI）协议提供实时性能参数，以确保蚀刻模式的最佳一致性。另外，先进的控制软件允许对枪进行精确的光学调节，使得厚薄膜的信号强度一致。ASL-7500 A的软件具有多种蚀刻工艺，从木桩蚀刻到RIE（反应性离子蚀刻），允许与多种材料最大的兼容性。该资产旨在方便地集成到各种系统中,具有先进的通信端口和现代I/O模型。该单元与各种复杂工艺控制的光刻胶配方兼容，确保了最佳蚀刻熟练度和完全精确度。DAN SCIENCE ASL-7500A是广泛应用的理想光刻设备。该单元能够在各种薄膜材料上创建详细、高精度的特征。其先进的控制方法和软件兼容性使其成为需要一致和可靠结果的用户的理想选择。该系统处理各种材料的能力，包括SODS，使得它非常适合半导体行业的研究人员和专业人士。