二手 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS #9309592 待售

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS
ID: 9309592
晶圆大小: 8"
Cleaning system, 8".
DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS是一种光刻设备,旨在为光刻用户提供快速、可靠、高精度的处理。它是一个全自动系统,提供一套光刻工艺。该装置采用集成的掩模对齐器,提供精确、快速的光掩模对齐。这样可以更精确地抵抗涂层、暴露和显影。它专为大面积对准范围可达870 mmx 870 mm的小型和大型设备制造而设计。自动护送功能有助于保持高吞吐量和一致的结果。此外,该机还具有易于操作的直观用户界面。它包括用户可选择的焦点标记模式,允许用户同时定位和聚焦最多三个光掩码,从而显着缩短对齐时间。它还具有掩蔽区域检测、定位精度、对准速度和可重复性等标准特性。TC DR-15 SUS旨在提供卓越的光刻效果和高质量的图像。它能够解析分辨率为0.1 μ m的敏锐度图像,并具有8英寸的吞吐量级处理能力。它还具有30加仑的油箱,即使在更高的图像分辨率下也能确保一致的质量结果。该工具专为可扩展性而设计,其可编程参数使其能够处理各种设备几何形状和材料。它也非常适合于多级工艺应用,如MEMS、LED和光学微元件。Dan-TAKUMA TECHNOLOGIES TC DR-15 SUS是半导体和电子器件制造的理想资产。它旨在最大限度地减少人工操作,最大限度地减少人为输入错误,并最大限度地提高准确性。它可靠、快速,每次都能提供高质量的光刻效果。
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