二手 DELTA 4CJ #293628703 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293628703
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2005
Photoresist coater, 6"-8"
Non-functional
Cybor pump
PC
2005 vintage.
DELTA 4CJ是日立化工有限公司研发的一款光敏设备,为印刷电路板(PCB)和半导体器件制造提供卓越的光敏度和高分辨率。该系统由可溶剂开发的负作用聚合物基体组成,与竞争对手的光致抗蚀剂相比,该基体受水分和化学物质的影响较小。4CJ单元由于其改性的硅基聚合物基体具有较高的稳定性,该基体耐水和强碱性溶液,可引起其他光致抗蚀剂的早期变质。这使得DELTA 4CJ机器特别适合于需要长溶剂循环的高温过程。4CJ中所含的改性聚酰亚胺也提供了出色的分辨率,在光照下可达到高达0.5微米的细线分辨率。DELTA 4CJ的溶剂开发聚合物需要简单的工艺条件才能获得最佳性能。水性碱显影剂的短自旋周期为10-20秒,范围为80-90摄氏度,足以溶解。在240摄氏度下烘烤30分钟可加速发育并提高产量。4CJ工具暴露于高能紫外线光源,如紫外线固化中心提供的EL-20B光源,导致快速溶解和高对比度图像显影。DELTA 4CJ资产对暴露后残留物具有很高的抵抗力,从而提高了后续导电金属化层或介电层的附着力,增加了在多层组件中成功制造的机会。此外,由于其耐用的高分子基质,4CJ在暴露后的寿命非常好,进一步确保了长期的卓越性能。综上所述,DELTA 4CJ模型由于其优越的分辨率和稳定性,是高性能PCB和半导体制造工艺的绝佳选择。该设备的溶剂开发性质也使其易于使用,而其优越的附着性能保证了在复杂的多层装配中的成功。
还没有评论