二手 DELTA 5AQ #293628639 待售

DELTA 5AQ，又称光刻设备，是关键微电子器件制造工艺中的一种技术。这类技术旨在使技术人员能够以经济高效的方式在各种基板上产生耐用、高精度的物理特征。5AQ系统是利用光聚合物多层抗蚀剂的先进光刻工艺。抗蚀剂以液体形式生成，并作为粘性薄膜涂在要图案化的基板上。一旦使用了抗蚀剂，基板就会受到适当的曝光波长的光。这种暴露会引发化学反应，改变抗蚀剂的状态，使其溶解度降低，最终使抗蚀剂膜变硬。在暴露过程之后，现在可以通过有选择地冲洗掉改变后的抗蚀剂来对基板进行图样化。DELTA 5AQ单元允许由于薄膜抗蚀剂的组合、精确的曝光波长和精确的抗蚀剂开发过程，在基板上制造非常精细和复杂的物理特征。此外,5AQ还提供了卓越的边缘定义、特征尺寸精度和过程吞吐量-所有这些都是以低成本实现的。DELTA 5AQ光刻机凭借其强大的性能和成本效益，已成为微电子行业的重要工具。它使技术人员能够快速准确地在基板上生成精确的物理特征（最低5微米）,这对于任何设备的性能都是必不可少的。5AQ工具还提供出色的晶片对晶片和层对层控制,使技术人员能够控制基板的临界尺寸（CD）,以便精确地制造设备。此外，与传统系统相比，DELTA 5AQ资产提供了更好的安全和环境保护。总体而言,5AQ光刻胶模型提供精确的物理特性,并以合理的价格提供准确可靠的工艺。它是微电子工业中极为重要的工具，近年来已成为器件制造的标准。