二手 DELTA 5AQ #9395524 待售

DELTA 5AQ设备是为清洁生产微电子器件而设计的最先进的光刻系统。此单元专门用于帮助制造商更好地管理其流程、最大限度地减少缺陷并降低成本。该机器提供了广泛的强健光刻服务，可以支持需要创建高质量微电子元件的组织。这包括蒙版、图桉和光刻等过程。它还提供了多种高级功能，如图桉迭加检查、垂直线扫描和自动化过程监控。5AQ是一个由开发工作站、处理器和自动晶圆处理程序组成的三元组工具。这三个组件协同工作以确保一致和优化的过程。开发站负责资产中使用的光刻胶的服务和批量调优。它具有高速内存模型，可以快速传输数据和配方。处理器包含多个泵和搅拌器、远紫外线灯和喷枪，使光刻胶开发和处理操作的全阵列。它还有一个直观的用户界面，引导用户完成整个过程。处理器还包含一个自洁设备，以保持清洁和化学稳定性。自动晶圆处理程序可以处理各种晶圆大小,并提供最高的吞吐量速率。它使用先进的机器人技术和精确的运动系统来精确地对准和放置基板。该系统还配备了一个特殊用途的对接站，可以方便地交换基板。总之，DELTA 5AQ是为生产高质量微电子元件而设计的先进光阻装置。它结合了强大的开发工作站、处理器和可靠的自动化晶圆处理程序,以确保一致和优化的过程。机器是完全自动化的，提供了一个易于使用的用户界面。凭借其尖端的特点，该工具是任何需要生产高质量微电子元件的组织的完美工具。