二手 DELTA 6CL #293628642 待售
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ID: 293628642
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2006
Wafer coater
Cassette nest, 6"-8"
(2) Dispense arms
(2) Cybor programmable metering pumps
Pressure dispense canister for solvent
Dual end effector transfer arm
Backside rinse
Hepa filter
EBR
Hotplate
PC
2006 vintage.
DELTA 6CL是一种光刻设备,用于在各种表面上创建高分辨率图像,包括玻璃、塑料等。它是一种多头耐涂层系统,单次可涂覆多达6种基材,非常适合大批量生产。该单元包括一个溶剂喷雾器和一个石英拱,以及一个头臂,所有这些都是可调的,以适应各种底物。该机由一个特别开发和直观的软件控制,这使得它可以用于各种涂层作业,并具有许多用户友好的功能。6CL利用一种独特的光刻剂喷涂方法,使基板形成均匀的涂层。这种方法基于"闪烁雾化过程",提供了对基板表面的均匀覆盖。这确保了光刻胶的正确应用,并确保了设计的关键特征的准确和一致的表示。DELTA 6CL有一个可编程喷嘴,允许用户定制喷雾模式和涂层过程的速度。它还配备了多个喷嘴,允许一次涂覆多个基板。喷嘴的设计易于调节,以帮助满足应用程序的具体要求。6CL与各种光刻胶兼容,从光选择丙烯酸到厚厚的应用光刻胶。它还与包括溶剂稀释剂、导光板光致抗蚀剂在内的多种液体光致抗蚀剂材料兼容。该软件允许在不同的光刻材料和兼容源之间轻松切换,有助于简化工作流程。DELTA 6CL的分辨率高达8µm,保证了高质量图像的产生。它能够涂覆从2 "x 2"到12 "x 12"的表面,也可以与三维物体、预制模板和其他不寻常的形状一起使用。该工具的设计既易于使用又可靠,其直观的软件控制喷嘴设计,并允许以快速的生产速度实现全面的图像。
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