二手 DELTA 7EK #9395525 待售

製造商
DELTA
模型
7EK
ID: 9395525
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2008
Coater, 6"-8" (1) Dedicated puddle dispense arm for developer and N2 (1) Dedicated spray arm for developer and DI rinse THERMO SCIENTIFIC A25 Chiller PC 2008 vintage.
DELTA 7EK光敏设备是一种精密光敏加工的紧凑、经济的解决方桉.它提供了一个多合一平台,既可节省成本,又可带来性能效益。该系统具有提供精确波长控制的全光谱LED光度计,以及用于精确光曝光测量的内置太赫兹石英晶体监视器。该单元支持多种光敏材料,包括光敏浸泡的VGA,静态和动态的抗蚀剂,以及抗涂层的金基板。集成的化学解决方桉可提供出色的分辨率和性能优势,同时将停机时间保持在最低水平。该机器具有允许快速设置程序的高级自动加载程序,并且可以设置该工具以在一个步骤中自动触发多次曝光。这种流线型的设计大大减少了制备和更换试剂所需的时间,并且可以在相同的设置中容纳多种光敏材料。集成的洪水喷射特性允许同时处理多余的光致抗蚀剂材料,进一步减少了更换抗蚀剂所需的时间。在性能方面,7EK能够分辨率高达0.5µm,具有扩展的景深。该资产的设计目的是提供一种均匀的抗性涂层,在各种工艺和基板上保持一致。该软件非常直观,允许操作员根据需要快速设置、执行和调整流程步骤。在安全性方面,DELTA 7EK Photoresist Model旨在最大限度地减少操作员接触有害材料。带有经过过滤的气流设备的防护罩减少了空气暴露带来的危险。废气鼓风机进一步减少了操作员进入危险区域的需要,同时确保安全处置过程中使用的化学品。7EK光刻胶系统是精密光刻胶加工的绝佳选择。其直观的单元设计使其易于操作,而其先进的功能则允许过程自动化和精确的控制。机器的安全特性让操作员安心,其价格合理的性能确保了它是任何生产线的强大解决方桉。
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