二手 DELTA DI Wafer Cleaner #293628705 待售
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ID: 293628705
晶圆大小: 6"-8"
DI Wafer cleaner, 6"-8"
6" and 8" wafer cassette holder
Wafer centering station
Dual end effector
DI Spray arm
1" Drain
N2 Dry nozzle
Exhaust booster fan
PC.
DELTA DI Wafer Cleaner是一种光致抗蚀剂设备,可用于快速可靠地从半导体晶圆、电路板和其他薄膜载体等基板上清除沉积物料、残留物和污染物层。该系统利用专利技术提供增强的清洁能力。晶片清洗过程涉及使用溶剂清洗步骤和基于臭氧的后蚀刻步骤。溶剂清洗步骤涉及使用有效的清洁溶液,该溶液通过喷嘴分配,并允许覆盖晶片的表面。该解决方桉旨在快速分解前一个蚀刻或沉积过程留下的残留物,并为进一步加工提供干净的底物。溶剂清洗步骤完成后,晶片通过基于臭氧的后蚀刻步骤。这一步骤利用臭氧(O3)迅速分解和可能仍然残留的额外残留物,包括有机化合物和一些无机化合物。DI Wafer Cleaner是一种坚固可靠的机器,旨在为用户提供众多优势。第一,它能够同时清洁晶片的两侧,可以大大减少循环时间。第二,有一种"一次性"版本的清洁剂,它允许使用新鲜晶片进行每一个清洁周期,从而消除了交叉污染的担忧。第三,该机设计快捷易用,对于短时间内要求高质量成绩的用户来说是理想的选择。最后,由于晶圆清洁器以全自动技术为基础,因此无需人工加工。综上所述,DELTA DI Wafer Cleaner是一个极好的光致抗蚀剂单元,设计用于快速可靠地从半导体晶片、电路板和其他薄膜载体等基板上清除沉积物料、残留物和污染物层。其先进的清洁机和自动化的预编程设置使得它非常适合在短时间内要求高质量结果的用户。
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