二手 DISCO DSC 141 #293751064 待售

DISCO DSC 141
製造商
DISCO
模型
DSC 141
ID: 293751064
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
Wafer cleaning system, 8" 2006 vintage.
DISCO DSC 141是为了精确开发薄膜材料而设计的光刻胶设备。它在制造亚微米尺度特征时提供了更高的工艺精度和可重复性。该系统包括一个内置的曝光单元(用于应用光致抗蚀剂材料)、一个聚焦离子束(用于对暴露的材料进行制图)和一个集成蚀刻机(用于蚀刻掉任何不需要的材料)。DSC 141光致抗蚀剂工具利用温度控制的腔室,允许样品暴露在精确的条件下。它还配备了一个用于供应光敏材料的容器,以及一个用于固化材料的内置激光光源。在曝光过程中,激光束被调整到所需的强度和聚焦规格,以便正确暴露所需的材料量。沉积过程在聚焦离子束(FIB)柱中进行,在该柱中材料使用高压电流进行阵列处理。此过程将蚀刻掉不需要的材料,以便仅保留所需的特征。FIB的阵列参数通过资产的图形界面控制。DISCO DSC 141还包含用于去除裸露材料的集成蚀刻模型。它利用化学物质、辐射、等离子体或其他蚀刻方法蚀刻掉所需的材料,同时保留其他图样。总体而言,DSC 141光刻设备为精密元件的设计和制造提供了一种准确可靠的方法。其内置的曝光系统和蚀刻单元确保了一致的结果,而其FIB柱和激光光源提供了制作非常小的特征和结构的灵活性。机器的温控室还确保材料在过程中暴露在正确的条件下。结合这些功能,DISCO DSC 141成为市场上最可靠的光刻胶系统之一。
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