二手 DNS / DAINIPPON 200W #9227318 待售

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製造商
DNS / DAINIPPON
模型
200W
ID: 9227318
Coater With ASML stepper interface module, 8".
DNS/DAINIPPON 200W是一种超快速可靠的SAMCO光刻设备,旨在支持批量生产应用。该系统采用自动非接触对齐工艺,能够处理高精度对齐,提高吞吐量和产量,同时提高设备生产率。光致抗蚀剂被应用在大气受控的环境中,从而有效地保护其免受空气传播的污染。该单元拥有单链曝光源技术,具有200瓦脉冲激光二极管,使其能够在一小部分时间内实现超高分辨率特征,并且比传统的光敏系统精度要大得多。这台机器设计得非常紧凑,占用的空间大大少于竞争对手的系统。该工具包含两个独特的概念:动态曝光和空浮对准。动态曝光特征使资产能够检测和认同光刻胶图桉的形状,实时微调对准,达到高精度的结果。空气浮标对准减少了过程中的扭曲量,增加了在复杂结构中应用光刻胶时可以结合的柔韧性。该模型利用现成的Quartz作为基材,与其他光刻胶系统相比,它以较低的成本可靠。石英将激光脉冲转化为热,因此在抗蚀剂中实现均匀腐蚀。此外,石英表面在暴露于大气中时完全被天然氧化物层覆盖,从而形成更加均匀的抗蚀层。此外,由于其内置的数据处理系统(包括存储设计数据和暴露参数的工具),设备提高了效率并减少了时间消耗。这减少了每个周期的生产时间,因为只需要输入暴露参数和测试结果,就不需要繁琐的手动数据输入。因此,由于暴露时间缩短和测量更准确,产品质量得到了改善。总而言之,与市场上的其他系统相比,DNS 200W是一个可靠的光阻单元,可提供卓越的分辨率、高吞吐量、提高的生产率和低成本。其动态曝光和浮空对准特性使其成为任何生产应用的最佳选择。
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