二手 DNS / DAINIPPON 200W #9277847 待售

DNS/DAINIPPON 200W是为半导体器件开发而设计的高分辨率光敏涂层设备。它是一个灵活、高效的系统，适用于分析和生产应用的处理。DNS 200W装置采用先进的液体抗蚀剂浸入式光刻技术,结合自动化技术,在各种晶圆加工中提供卓越的性能。该机采用多层、多工艺的光刻涂层，提供了改进的涂层均匀性和薄膜涂层特性。此外，采用了一种独特的微观制造技术，以确保由于涂层厚度或表面粗糙度的局部差异而产生的最小线宽变化。该工具采用自动晶片加载设计，方便过程重复性。资产配备彩色液晶显示器，显示时间、温度、压力和其他重要的工艺数据。此外,具有设计提示支持的用户友好图形界面使模式设计更容易、更快。该模型提供了出色的抗蚀剂附着力，而不会失去任何抗蚀剂性能，从而提供比其他光刻胶系统更高的线条分辨率和一致的抗蚀剂轮廓。该设备还提供了广泛的光阻涂层选择，从正负金属到酸和水性抗性溶液。该系统采用机器人控制的晶片处理技术，实现了高精度的自动硅片安装工艺。在设计保护清洁环境的DAINIPPON 200W单元时特别考虑。为保证洁净室内的光刻处理质量，机器配备了各种过滤器和探测器，不断监测洁净室内的尘埃颗粒和湿度。总之，200W工具提供了一种先进的，用户友好的光刻处理资产，具有广泛的涂层材料，用于各种晶圆加工。它的自动化晶片处理和出色的抗粘性使高分辨率模式能够在清洁的环境中得到开发，使其成为半导体器件开发和生产应用的绝佳选择。