二手 DNS / DAINIPPON 4-SC-80BW-AVE #293655891 待售
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DNS/DAINIPPON 4-SC-80BW-AVE光刻设备是一种负色调光刻技术。它是一个设计用于半导体器件制造过程的系统，允许在光致抗蚀剂基板上层的图样化。单位名称是指机器的尺寸，为四乘八厘米，由DNS制造。这种光刻工具适用于广泛的半导体制造工艺，包括厚膜沉积、薄膜蚀刻、光刻、电介质沉积等操作。该资产具有一种单体级分子量控制剂和一种抗反射涂层，这种涂层可以提高能力和减光抗蚀剂成像。这保证了0.1微米线等小特征可以在各种基板上产生。该模型还被设计为使反射最小化，从而允许层间电阻率参差不齐，并提高图样之间的精度。设备需要使用热修复膜，因为它是一种负性抗性。在对光刻胶成像之前，将这层膜涂在基板上。薄膜在成像过程中保护基板不受热量的影响，防止迁移，还具有改进蚀刻的附加好处。一旦光致抗蚀剂成像，底物就可以暴露在光子或离子过程中。热修复膜的设计也是为了确保在不影响底层电路及其组件的情况下可以去除抗蚀剂。这是通过使用斜面处理来实现的,即使在曲面上也能改善抗蚀剂的去除。此外，该系统还具有深层紫外线暴露等技术，用于提高图样特征的准确性和分辨率。归根结底，DNS 4-SC-80BW-AVE Photoresist Unit是半导体制造过程的理想解决方桉，尤其是在光致抗蚀剂基板上图样化层时。该机采用单体级分子量控制剂和抗反射涂层，有助于确保0.1微米线等小特性能够准确产生。该工具还包括热修复膜和深紫外曝光控制技术，保护基板并确保改进的抗蚀剂去除。
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