二手 DNS / DAINIPPON 60A #9162932 待售

DNS/DAINIPPON 60A是一种用于半导体加工的光刻设备。它旨在借助光敏材料在硅片上提供高分辨率图样。该系统基于一种PAA（Photoresist Acid-Antagonistic）技术，该技术是光抗性前体和碱性成分的组合。这种组合可以通过控制光照照射到光刻胶上，在晶片表面上实现精细的分辨率图样。该单元由光致抗蚀剂、曝光单元、显影剂和旋转单元组成。DNS 60A中使用的光致抗蚀剂是一种液态树脂，与对光反应的低聚物溷合。晶片暴露在光下时，低聚物会造成光致抗蚀剂溶解度的变化，使得某些区域受到显影溶液的影响。曝光单元由数字投影镜头、快门、直线级、石英灯和控制器组成。该单元以不同的强度和角度将光投射到晶片上。显影剂是一种特殊的溶液，用于去除不需要的光致抗蚀剂区域，将图样化的区域留在光照过的晶片上。最后，使用旋转单元以预定的速度和时间机械旋转晶片，使表面均匀地覆盖有光致抗蚀剂。DAINIPPON 60A可用于高精度、高效率地制造半导体元件.它可以达到50纳米的最小特征尺寸的精密图样。该机器还可以支持高吞吐量，因为它能够在单个旋转涂层过程中将多种图样传递到一个晶圆上。此外，光致抗蚀剂是环保的，这对于许多工业应用是可取的。总体而言，60A光敏工具是在半导体晶片上创建精密图样的有效工具。它易于使用，并能产生非常精细的分辨率的结果。此外，它是环保的，使其成为寻求环保解决方桉的行业的有利选择。