二手 DNS / DAINIPPON 60A #9188819 待售
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DNS/DAINIPPON 60A是一种先进的光刻设备,专为在宽大的基板上快速应用薄而均匀的涂层而设计。该系统是满足微电子制造需求的最先进的解决方桉,例如在半导体晶圆制造中。该单元由一系列组件组成,包括一个高功率紫外线光源,它提高了沉积过程的速度并允许控制薄膜厚度。为确保均匀沉积,光源配有扫描仪,使光束在平面内移动并旋转,以达到最佳覆盖范围。此外,该机器还包括一些光学滤光片,以及一个石英窗口,该窗口优化了所选波长范围的传输。此外,该工具包括一个温度控制功能,使一个均匀和可重现的涂层在大型基板。该资产还便于冷热固化,进一步提高了光刻膜的厚度均匀性和稳定性。在这种模式下,过程开始于施加热蒸气,然后将基板冷却到设定温度。所有这些特性使得这种光刻胶模型非常适合大型晶片生产。涂层一旦涂上,就可以暴露在紫外线光源下,与DuPont 625F或OSRAM TO/T2等开发者一起开发。通常,光致抗蚀剂是可见的,具有不透明度。然而,光致抗蚀剂DNS 60A被设计成人眼几乎看不见,确保了精确的薄膜沉积。除了这种设备通过集成滤波器所具有的出色的抗蚀性外,它的设计还为在一系列其他过程中使用提供了相当大的灵活性。例如,它的设计支持各种定制解决方桉,从低温环境到高温环境不等。该系统还与电子束结合,用于超高分辨率沉积。DAINIPPON 60A是一种可靠且用途广泛的先进光刻装置,具有为晶圆制造量身定制的特点和应用。该机提高了沉积速度,提高了薄膜沉积的均匀性,提高了柔韧性.它能够使薄薄和均匀的涂层,并允许精密沉积细腻或复杂的特征。其高分辨率结合经常性结果,提供可靠的操作和一致的质量。使60A成为现代微电子制造的理想解决方桉。
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