二手 DNS / DAINIPPON 60A #9252552 待售

DNS/DAINIPPON 60A是一种用于半导体制造领域的光敏设备。光致抗蚀剂是一种对紫外线敏感的有机膜，用于在半导体结构上绘制微电路和其他细微特征的图样。DNS 60A是一种B型树脂体系，其蚀刻特性优于其他类型的光刻胶。该单元由A型液体抗光剂、B型粉末涂层光致抗蚀剂和深灰色显影剂组成。液体抗光剂通过自旋涂层施加，粉末涂层形式喷洒到基板上。然后使用深灰色显影剂有选择地去除光致抗蚀剂，这会在薄膜中创建描述所需结构的图样。DAINIPPON 60A机非常适合需要高分辨率和垂直壁轮廓的图形的应用。A型液体光阻能产生长宽比约1：1、细线宽0.2微米的特性。B型粉末涂层光刻胶能够产生长宽比高于10：1、线宽降至0.05微米的墙面轮廓。该工具还表现出良好的蚀刻阻力，这意味着一旦在基板上图样化的特征将在蚀刻过程中保持完整，从而产生更好的尺寸精度。此外，该资产能够在低于沸点的温度下成型，这是半导体加工的一个重要因素。总体而言，60A光刻胶模型是一种可靠、经济高效的设备，用于制作详细、高分辨率的图样。其出色的墙面轮廓特性、蚀刻阻力和低温制图能力使该系统成为半导体应用的理想选择。