二手 DNS / DAINIPPON 60A #9252573 待售

DNS/DAINIPPON 60A是为制造微电子工业中精确、高分辨率图样而设计的光刻设备。该系统由一种光致抗蚀剂材料组成，该材料应用到基板上并暴露于紫外线。光致抗蚀剂对紫外线产生反应，并在一个称为"交联"的过程中被改变，该过程赋予材料所需的形状，由此产生的图样具有纳米尺度的精确度。光致抗蚀剂暴露于紫外线的过程是精确和可重复的，允许高度可靠的生产模式。光致抗蚀剂以液态施加在基板上，然后被紫外线选择性激活。紫外线的强度被控制，以确保精确的曝光水平，这直接影响到得到的图样的分辨率。DNS 60A的技术允许光致抗蚀剂有选择地暴露或屏蔽，从而允许产生窄至15-20纳米的高分辨率图样。DAINIPPON 60A单元的一个主要优点是能够沿着曲面产生紧密的图桉,从而能够制造高度专业化的零件。这种技术是通过光刻胶暴露于一个圆形光环中而得以实现的，该环仅激活光刻胶直接暴露于光的部分。有了这种精确度，就能快速、准确地生产出曲线平滑、细节细腻的电路和元件，而不会产生额外的材料。除了制造高分辨率图样的能力外，60A还提供了行业领先的干蚀刻工艺，在这种工艺中，SF6和CO2的溷合物在曝光后应用于光刻胶。这个蚀刻过程去除了紫外线激活的区域，只留下未公开的光刻胶。这样就可以在硅晶片上制作出精细、超细的图桉和形状，以及多层蚀刻，其层薄于1至2微米。除了精密製造的应用外，DNS/DAINIPPON 60A还用于医疗和牙科植入物的生产，以及科学研究和生物技术领域的微加工。DNS 60A机具有高精度、重复性和广泛的应用，是业界领先的精密微电子生产的宝贵工具。