二手 DNS / DAINIPPON 629 #9285138 待售

DNS/DAINIPPON 629是一款由DNS Screen开发的正作用、高分辨率的光刻胶设备。这种光活性抗蚀剂是基于一种传统的novolac树脂。该系统广泛应用于半导体过程中，如阵列高长宽比接触孔、沟槽、通气；为ULSI创建千兆位密度特征；并通过孔形成微孔，以制造封装基板。该机器有两种选择的极性溶剂，如乙酸丙二醇单甲醚（PGMEA）和丙二醇单甲醚（PGME）。该工具还提供了广泛的辐射照射，包括深紫外线（DUV）、ArF激光、i-line、G-line、i-line掩蔽，具有高分辨率能力和均匀收缩。它具有高灵敏度，易于曝光，产生均匀的线条和空间（L/S）结构，并表现出优秀的薄膜性能，如附着力和线条边缘粗糙度（LER）。在CMP过程中,这种抗蚀性资产还具有最小的抗蚀性,使其成为多层接触孔、沟槽和通过过程的理想选择。抗蚀剂模型改进后的碱性显影剂使蚀刻工艺更加有效。DNS 629光刻膜具有良好的湿蚀刻性能，可实现高长宽比接触孔（HAR）。还可以开发这种抗蚀膜，以获得较清洁的侧壁剖面，具有较小的角度交流振幅剖面，即低的底层氧化物水平。该设备还具有良好的热稳定性，适用于金属溅射、回流和焊接等高温工艺。此外，DAINIPPON 629系统在有机溶剂中具有良好的溶解度，在底物表面的凹凸表面或多层表面距离较小的情况下，易于应用，附着力良好。最后，629光致抗蚀剂装置具有极好的可重复性，被认为对环境安全，符合中芯国际、UMC和IMEC安全标准。总的来说，这种抗蚀机为先进的包装和半导体工艺应用提供了出色的光刻性能。