二手 DNS / DAINIPPON 80 A / 80 B #9161502 待售
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ID: 9161502
Power supply
Series track / coater / spinner
Track main AC power distribution
Supply unit.
DNS/DAINIPPON 80 A/80 B是由DNS Screen Manufacturing Co.Ltd.并用作光刻光刻材料,主要用于制造硅半导体器件。该系统由光刻胶片和显影剂溶液组成,旨在提供高分辨率、低成本和工艺完整性,以提高光刻性能。光敏膜由有机溶剂中的悬浮液形式的聚合物材料组成,通常是甲醇。它含有阴离子光敏剂、光活性化合物和热改性酸催化剂。当暴露在光线下,光敏分子重新排列其形态,形成酸性催化分子,进而催化释放聚合自由基,导致聚合物材料变硬,形成抗拒结构。显影剂溶液是含碱催化剂和硫醇型水性聚合物材料的稀氨基水溶液。这种溶液充当脱酸剂,中和并溶解光刻胶膜暴露在光线下形成的抗蚀剂结构。这样可以更精确地控制暴露的光刻胶层。这些组件的组合为光刻工艺提供了一些独特的优势。首先,光刻膜中使用的聚合物材料提供高分辨率成像,使得机器能够用于各种晶圆尺寸和应用。其次,显影剂溶液高度稳定,倾向于提供长期的过程完整性,对污染或老化造成的降解的敏感性最小。最后,该工具成本相对较低,使其成为低成本光刻工艺的诱人选择。总体而言,DNS 80 A/80 B光刻胶资产为各种半导体制造应用提供了高分辨率、低成本和面向工艺完整性的光刻材料。通过其出色的成像和稳定特性,该模型非常适合多种过程,从大型集成芯片到小型集成电路,从内存芯片到逻辑节点设计。
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