二手 DNS / DAINIPPON 80A #293760446 待售
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DNS/DAINIPPON 80A是为制造高精度电子产品而设计的光刻设备。该系统使用化学蚀刻工艺将图样刻在导电基板上。这一凋刻过程涉及在基板表面上创建一个有图样的抗蚀层,该层用作底层导电材料蚀刻的掩模。该单元结合了光反应性和水溶性光刻胶以创建必要的蚀刻图样。光反应性光致抗蚀剂是含有发色团的有机聚合物,会吸收特定波长的光,溶于水溶液。光活化的发色团允许光致抗蚀剂在基质表面的均匀沉积。第二种成分,一种水溶性光致抗蚀剂,是一种也能溶于水的聚合物。这被用来形成跨底物的低电阻率各向异性通路。为了启动该过程,首先在涂有两种不同类型的光刻胶的光掩模上绘制图样。然后将这些光掩模放置在半导体基板上,并暴露在紫外线下。光激活光反应性光致抗蚀剂中的发色团,使其溶于水溶液。然后将暴露的基材浸入水中,光活化的可溶性光致抗蚀剂在基材表面形成图样,允许精细的分辨率图样。然后通过用化学溶液蚀刻掉图样化的抗蚀层来形成暴露的图样。这留下了一层下面的导电材料,在基板上形成图样。这允许形成具有不同电阻率特性的通路,可用于创建高精度电路。DNS 80A是一种用于制造高精度电子产品的功能强大、用途广泛的光刻机。其光反应性和水溶性光致抗蚀剂的组合允许在导电材料基板的表面上产生复杂的图样。利用这种技术刻画图桉,可以创建具有不同电阻率模式和特征的高精度电路。该工具在电子工业中非常有用,在电子元件的制造和设计中得到了广泛的应用。
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