二手 DNS / DAINIPPON 80A #293814129 待售

DNS / DAINIPPON 80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 293814129
晶圆大小: 6"
Coater, 6".
DNS/DAINIPPON 80A是一种光刻胶设备,用于各种基材的蚀刻和图样处理。该系统是一个知名的、广泛使用的光刻胶单元的增强版本。该机器最适合在非晶硅、多晶硅和单晶硅晶片上形成薄抗蚀剂。它也适用于玻璃和石英等层转移基板上的图样化。该工具由两部分组成。第一部分是DNS 80A光致抗蚀剂,是一种水溶性、无明胶、高粘度的抗蚀剂。它具有优于基板的附着力,可以在整个基板表面达到均匀的厚度和孔隙度。第二部分是DPS-6202步进器,该步进器具有高图像校验精度和1毫秒锐利曝光延迟的狭缝扫描方法。DPS-6202步进器能够检测到小至3 µm的明暗图样,并在整个基板上提供薄膜均匀性。它还为不同种类的曝光提供了最合适的平衡条件。DAINIPPON 80A光致抗蚀剂和DPS-6202步进器相结合,操作方便,效果优异。基材必须在正确的制样条件下制备。同样重要的是选择正确的蚀刻条件以达到预期的效果。由于光致抗蚀剂具有较高的粘度,因此需要精确的输送和施用,以防止过度喷涂到基板上。然后,基板根据所需的图样暴露在预设功率和波长的紫外线下。最后,曝光后用适当的化学蚀刻剂除去光致抗蚀剂。80A光刻资产是一种高度可靠和通用的蚀刻和图案基板模型。它拥有广泛的应用,其优越的附着力,以基板允许优秀和一致的结果。由于曝光延迟短,加上步进器清晰的图像验证精度,这种设备是蚀刻和图样的高效且经济实惠的选择。
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