二手 DNS / DAINIPPON 80A #293830591 待售

DNS/DAINIPPON 80A是一种光刻设备,使用户能够在晶片上精确地显示图样。该系统的特点是稳定性高，精度高，附加多功能功能。该单元由一个曝光头模块、一个光学机器模块和一个机械组件模块组成。曝光头模组包含两个独立对称对准的眼睛。每只眼睛都具有精确的自动对准能力，分辨率为2um，可重复性为0.1 um。分辨率也可以从0.5um范围调整到3um。此外，两个镜子包括在曝光头模块中，以允许光的均匀分布在整个晶圆。光学工具模块的设计允许有效地将蒙版照射到晶圆上。它利用了一种大直径的照明光学资产，设计用于与各种透镜结合使用，如25毫米和50毫米。该模型在晶圆上产生均匀光强度的明场照明。此外，光学设备模块还配备了一个本地检流计扫描仪和一个用于一次扫描大面积晶片的旋转级。机械元件模块与光学系统模块配合使用，以精确定位晶圆。它具有晶片精确定位的定位指南和晶片卡盘，以确保其稳定。此外,机械元件模块还包括一个高度调节功能,用于控制对准头与晶圆之间的精确距离。DNS 80A光致抗蚀剂单元提供了一种可靠、准确的晶片阵列设计方法。本机因稳定性高、精度高、附加多功能功能，满足多种不同类型应用的要求。该工具具有先进的特点和功能，非常适合快速、准确地制作各种晶片。