二手 DNS / DAINIPPON 80A #9134994 待售

DNS / DAINIPPON 80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9134994
晶圆大小: 8"
Photoresist (2) coaters / (2) Developers system, 8" Dual block IFB.
DNS/DAINIPPON 80A是一种先进的光刻设备,旨在提高半导体制造工艺光刻阶段的印刷质量。该系统采用光敏液体,应用于硅片等基板表面。当光线暴露于这种液体时,光致抗蚀剂会激活并保持在表面。这种抗蚀剂随后在光刻过程中用于阻挡表面的某些区域。DNS 80A光敏装置采用独特的配方提供卓越的性能.配方的核心是基于聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的光敏材料,这是一种丙烯酸聚合物,可抵抗包括紫外线在内的多种条件。这种特殊的光刻胶具有出色的光学清晰度、高分辨率、优异的薄膜均匀性和优异的附着性能。此外,该机器还提供了与正负模式系统的高度兼容性。除了光刻成份外,DAINIPPON 80A工具还包括其他几个元素,旨在提供最佳的光刻工艺。这些组分包括光致抗蚀剂剥离器、稀释剂、水性显影剂和显影剂补充溶液。光致抗蚀剂剥离器用于便于在曝光后从图样中去除抗蚀剂,而稀释剂有助于减少涂层过程中的任何颗粒或雾霾。水溶液显影剂有助于化学"蚀刻"图样到基板上,补给溶液有助于在多个周期内保持制剂的可重复性。总体而言,80A光刻资产是光刻制造过程中实现高分辨率打印的可靠有效方法。利用先进的PMMA光刻胶,该模型提供了卓越的清晰度、均匀性和附着力.此外,其他组件包括稀释剂、显影剂和补品解决方桉有助于确保图样准确打印在基板上。这些特性和组件使DNS/DAINIPPON 80A光刻程序的理想选择。
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