二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162935 待售

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DNS / DAINIPPON 80A
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9162935
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
Coater system, 6" 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是一种高性能、超精确的光刻涂层设备,其设计目的是将薄光刻膜精确地沉积在不同的基板上。它是一种利用红外照射使基板暴露于均匀、稳定且可预测的精确分散的抗性材料的复杂系统。它在现代半导体设计制造中得到了广泛的应用。单元由三个独立模块组成:主外壳、照明源和分配模块。主壳体单元持有曝光灯、快门和控制机。工具中使用的红外优化超高强度灯提供了均匀稳定的连续光源,并以受控强度将光传递到基板上。该快门设计用于自动和手动模式,并确保在涂层过程中稳定和可靠的照明应用。先进的电动控制装置负责使光刻胶暴露于基板上所需的敏感定时元件。照明源模块是DNS 80A资产的核心.它由一个电子光源组成,可以以设定的强度水平将光传递到基板。该模型包括一系列可调节的灯、滤镜和透镜阵列,用于改变基板上光源的入射角和位置。该模块还配备了温度控制设备,可以将源保持在最佳温度,以获得一致的结果。最后,使用分配模块将光敏材料精确、均匀地输送到基板上。这是通过一个精确的喷涂过程来完成的,该过程由一系列可机械调节的喷嘴头调节,允许在顺序层中应用多个光致抗蚀剂层。该系统还具有先进的电子监控和反馈回路单元,以确保光刻胶层的准确应用。总之,DAINIPPON 80A是一种精密可靠的光刻涂层机,具有优异的光刻精度和均匀的沉积性能。通过结合先进的特性,例如精确的光源和电子控制系统,这种工具能够在基板上提供一致和可靠的光阻涂层。我们正在使用最新技术来确保我们的客户能够使用卓越的光刻系统。
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