二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162939 待售

DNS/DAINIPPON 80A是为生产半导体基板中的电子元件而设计的高质量光刻胶设备。抗蚀剂体系基于传统的负型光抗蚀剂工艺，以化学放大的novolak树脂为基层。它具有850 mJ/cm2的灵敏度，提供出色的图像描绘和高度的可重复性。它适用于从亚微米到超大规模集成电路制造的各种工艺。该过程从树脂在基板上的旋转涂层开始，然后是预烤和曝光后烘烤。预烤可以让残留的水从抗蚀剂膜中蒸发，在抗蚀剂层暴露于照相面膜之前。曝光后烘烤时，抗蚀膜在高于预烤温度的温度下烘烤，使抗蚀膜硬化致密。曝光后烘烤保证了良好的图像保真度，因为固化聚合物层的平面偏差小于0.5%。可获得的最小特征尺寸为0.6 µm，适合生产晶体管、电容器和其他小型化电子元件。而且，光致抗蚀剂含有A-TSQ，有助于降低碱渗透的影响。然后在碳酸钠和氢氧化铵的溶液中显影。然后通过干蚀刻工艺将产生的抗蚀剂图样转移到基材上。该工艺结合了高图像保真度和低干蚀刻偏差，在蚀刻不同材料时达到了极好的选择性。除了通用功能外，DNS 80A还适合离子植入和先进的模式结构。抗蚀剂具有较低的k因数和良好的聚焦深度，在先进的成型过程中表现良好。它支持高性能性能和低产量损失,使其成为各种半导体生产过程的理想选择。该机也非常可靠，允许生产高质量、可靠的微电子元件。近十年来它一直被用于生产过程中，在这段时间里它的性能一直是一致的。它能够在大小晶片上产生可重复和可靠的半导体元件，因此非常适合各种应用。