二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162941 待售

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DNS / DAINIPPON 80A
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9162941
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Developer system, 6" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是为开发薄膜光刻涂层而设计的最先进的光刻设备。该系统经过专门设计,为包括MEMS/MOEMS、光刻、微电子和光学涂层在内的广泛应用提供一致和可重现的性能。该装置由一个全功能的光敏喷雾室和多个精确蒸发站组成,用于均匀和一致的薄膜光敏涂层。喷雾室设计用于控制反应环境的温度和湿度,并提供光敏材料的均匀分布。它还具有真空互锁功能,以确保适当的沉积参数。多个PESs提供精确的层沉积控制,允许精确微调薄膜光刻层厚度。DNS 80A仪器还包括一台先进的流体和气体控制机,其设计目的是为工具中多达七个反应堆提供精确的气流和压力控制。这一资产的设计允许精确控制反应速率和采用超高纯度工艺构建的层沉积参数。除了喷雾室和PES之外,DAINIPPON 80A还包括一个精密制作的烘焙瓶,用于薄膜层的均匀加热。烤箱的设计是单独控制每一层的温度,确保均匀的烘烤轮廓和防止因热而损失。这也保证了沉积的薄膜抗蚀剂均匀一致。80A还包括一种先进的计算机控制器模型,它使用户能够设置和监视统一光刻胶应用所需的各种条件。此外,基于微处理器的控制器允许实时调整诸如喷嘴压力、涂层速度、层厚度和温度等参数。这使用户能够快速适应不断变化的条件并优化其生产过程。总体而言,DNS/DAINIPPON 80A是一种功能强大且可靠的薄膜光刻设备,可为各种应用提供一致且可重现的性能。通过结合先进的光刻涂层、烘焙和计算机控制器系统,DNS 80A能够为极其广泛的应用过程提供精密的层沉积控制。
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