二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162943 待售

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DNS / DAINIPPON 80A
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80A
ID: 9162943
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
Developer system, 6" 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是为创造微处理器、半导体、芯片和其他电子元件而开发的光阻设备。它是一种结合了光刻和轨迹蚀刻过程的工具。光刻是通过将感光材料暴露在基板上而产生主图样的过程。主图样中的紫外线辐射成分被光掩模选择性阻挡,这使得光只能通过预定区域。这一过程确保了极精确的高细节图桉,这对于创建小型薄膜结构非常重要。然后使用轨迹蚀刻工艺在光致抗蚀剂层中创建精细结构。裸露层在光刻胶显影剂中显影,溶解并擦去所需图样中的光刻胶,留下残馀的结构。DNS 80A系统还提供高度自动化的生产线。这使得能够使用ArF (Arg-Fluoride) KrF (Krypto-Fluoride)激光源在大面积上进行大规模和精确的光控处理。DAINIPPON 80A单元提供了具有高蚀刻选择性的更稳定的抗蚀性过程,并且可以产生具有清晰线宽特征的模式。这台机器不仅提高了性能,还减少了制造半导体或微结构产品所需的时间。而且,该工具非常适合于最小线宽小于0.1 μ m的高度精确的阵列,并满足对更高复杂结构的日益增长的需求。80A光敏资产以其高精度和可靠性而在半导体工业中得到广泛应用。凭借其高端特点和各种抗拒开发过程,这种模式一定能满足半导体行业的需求。
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