二手 DNS / DAINIPPON 80A #9162944 待售

DNS/DAINIPPON 80A是专门设计用于半导体器件制造的先进干膜光刻设备。该系统采用了一种PVC基板，该基板已预先涂上了一层薄薄的抗蚀剂，随后进行了固化。这种固化的抗蚀层对紫外线或电子束辐射都敏感，并作为光刻的有效掩模。与其他类似系统相比,该层的电阻可以根据特定的客户需求轻松定制,并提供卓越的线缘粗糙度。它还可以实现在薄膜图样上的高分辨率成像,在干膜抵抗应用过程中具有显着优势。应用抗蚀剂的方法也相对简单，因为它可以在纸张中获得，从而最大限度地减少了光刻之前所需的过程。而且，该单元消除了由于使用溶剂基光致抗蚀剂而引起的任何潜在问题，如抗雾和边缘串珠，这可能导致最终半导体器件因暴露不良而质量下降。此外，这种材料的应用导致与传统溶剂相比蚀刻速度显着加快。这导致了对蚀刻速率的更大控制，允许生产优越的设备。该机器还得到氟硅烷载体的一些特性的辅助，氟硅烷载体被用作抗蚀剂的载体溶剂。氟硅烷载体与抗蚀剂分子相互作用，降低了它们的刚性，增加了附着力，同时也作为阻挡反应离子蚀刻攻击的屏障。当处理具有高度复杂模式的结构时,此特征尤其理想。该工具还具有一些优异的耐热性能，适合高温环境使用。此外，它还具有作为最经济的干膜系统之一的优势，使其成为多种类型的半导体器件制造的可行选择。综上所述,DNS 80A具有优异的线缘粗糙度、更高的分辨率和蚀刻速率控制特性,是制造半导体器件的理想之选。模型中的氟硅烷载体提供了更高的附着力和对反应性离子蚀刻的抵抗力，而其增强的耐热性使其适合高温环境。此外，其经济的价格使得它成为许多设备制造的一个有吸引力的选择。