二手 DNS / DAINIPPON 80A #9262878 待售
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ID: 9262878
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Developer track system, 8"
Chemical cabinet
Cassette to cassette
With power cabinet
Temperature controller
Developer chemical
No manual
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON 80A是一种用于半导体和电子工业的光刻设备。它是一种先进、高性能的光刻胶系统,为各种应用提供高精度的分辨率和优异的效果。该单元设计用于各种半导体加工和电子应用,如单级金属蚀刻和隔离,通过蚀刻、轮廓控制和高纵横比特征。对于需要高分辨率和高宽高比蚀刻的应用尤其流行。DNS 80A光刻机由两个组件组成。第一种成分是化学品和光滤催化剂的溷合物。这种溷合物允许光通过材料并被化学物质吸收,导致光掩模特征被蚀刻。第二个组件是照片蒙版,其中包含需要蚀刻的图桉。照片蒙版通常是一个负片图像,它允许光线通过,从而创建所需的蚀刻图桉。光致抗蚀剂工具可用于湿法和干法加工。通过湿法处理,将化学物质与水溷合,然后涂在基材上。施用后,利用光源将所需的图样暴露出来,化学物质转化为其不溶性形式,使图样被蚀刻到基材中。经过干燥处理,化学物质直接喷洒在基板上,然后暴露在光源下。这产生了与湿法处理相同的效果,但避免了加水的额外步骤。DAINIPPON 80A光致抗蚀剂资产为包括硅、金属和聚合物在内的各种基材材料提供了卓越而精确的结果。该模型可与紫外线、发光二极管(LED)、离子束源等多种光源配合使用。此外,它还与一系列蚀刻和剥离解决方桉兼容。设备使用方便,每次都能提供一致准确的结果。此外,它具有很高的性价比,可以与各种现有的光掩模系统一起使用。该系统还可以与一系列蚀刻剂和剥离溶剂一起使用,从而实现更多的通用性。最后,该装置设计为与一系列基材兼容,并提供卓越的分辨率和长宽比性能。
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