二手 DNS / DAINIPPON 80B #9022469 待售

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製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9022469
(2) Coaters / (3) Developers track system, 8".
DNS/DAINIPPON 80B是一种用于半导体晶圆加工的高性能自动光刻涂层设备。它是为异常精确和均匀的抵抗应用而设计的。该系统结合了多种技术,包括自动抗蚀分配、晶片映射、手动或自动晶片转移和可配置的空化。该装置的自动抗寒分配技术旨在以最高的效率准确测量、控制和分配各种冷热抗寒剂。它具有各种分配头,包括一个全方位的分配头,在晶圆表面均匀抵抗覆盖。机器由计算机控制,允许操作员调整和监视分配参数。DNS 80B的晶片映射特征使用激光扫描仪精确测量和映射晶片上的抗蚀层。这有助于消除涂层过程中的不一致,并使用户能够为每个晶圆设置自定义映射参数。晶圆传输工具允许将晶圆从分配站手动或自动传输到曝光室。自动化资产使用机械臂快速移动晶圆,而手动模型则需要人工操作员。最后,DAINIPPON 80B还包括一个可配置的空化设备。空化是从晶片表面去除多余抗蚀剂的过程,有助于提高薄膜的均匀性。系统的空化单元可以配置为控制空化过程的强度,允许使用者将抗蚀剂的均匀性调整到他们的精确规格。总体而言,80B是一种可靠和精确的自动光刻涂层机,设计用于在半导体晶片上产生一致和均匀的抗蚀层。它具有高精度分配、晶圆映射和空化能力,提供了一种可靠、高效、准确的涂覆晶圆的方法。
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