二手 DNS / DAINIPPON 80B #9035863 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9035863
晶圆大小: 8"
Track system, 8" (2) Coaters.
DNS/DAINIPPON 80B是为精密光刻应用而设计的领先光刻设备。它是一个高性能的水基系统,结合了强附着力和专门的特点,提供光刻与优越的效果。光致抗蚀剂单元由两个主要成分组成:光致抗蚀剂显影剂和光致蚀剂剥离器。显影剂是双组分碱性酸与双组分季铵复合润湿剂的组合。这种显影剂能够处理正负抗蚀剂,使涂层膜有选择地成像。显影剂还会在每个光刻步骤后移除抗蚀剂中任何不需要的层。光致抗蚀剂剥离器是铜盐、粘土和有机硅材料的溷合物,从抗蚀剂中去除任何选定的层,而不会损坏下面的底物。铜基盐作为表面活性剂来辅助去除过程,而粘土则有助于防止表面对抗蚀剂和基材的损害。这些元件的组合使DNS 80B机器具有优异的光刻效果。抗蚀剂附着力强,线宽准确,分辨率高.此外,该工具还提高了边缘分辨率,消除了光刻型尖顶形状缺陷.该资产还提供了广泛的过程纬度,以实现更好的过程控制和提高产品收益率。光刻胶模型是防水的,因此在剥离过程之后不需要空气干燥步骤。它也具有很高的耐用性,提供了良好的初始附着力,使其能够承受多重发展和剥离循环,而不会降低质量。该设备由于功耗低、循环时间短,性价比高。总之,DAINIPPON 80B光刻系统是一种可靠、精确的光刻单元技术,为各种工艺应用提供了优越的效果。它结合了强大的附着力和专门的部件,每次都能提供可靠的结果。该机器可提高边缘分辨率、工艺纬度和耐用性,从而提高产品产量。
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