二手 DNS / DAINIPPON 80B #9079272 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9079272
(1) Coater / (2) Developer Track System.
DNS/DAINIPPON 80B是一种最先进的光刻(光像)设备,能够产生高精度的光刻特性,具有出色的均匀性。它是一个现代化的光刻胶系统,建立在一个专门的平台上,旨在充分利用最新的先进制造工艺。该单元采用定向和热铜沉积(DCT)技术相结合,在各种基板上实现了均匀的发展和优越的附着力。这种高精度的光刻技术旨在实现优越和可重复的结果,具有更小的几何形状和更好的承受高温蚀刻过程热量的能力。机器的一个关键特点是它能够利用各种材料。该工具能够从各种材料中产生光致抗蚀剂特性,包括传统的抗蚀剂(半导体制造中使用的光致抗蚀剂材料)和电成型镍等新材料。这种材料组合确保了从薄膜到镀层通孔的最高质量特征和结构。该资产将集成的多重曝光单元与自动化开发模型相结合,从而实现了具有高吞吐量的精确且统一的特征开发。开发设备采用了渐进式湿法,包括各种不同的阶段工艺,例如用于清洁表面的预处理和用于去除多余光刻胶的后处理。开发单元的温度是可调的,可以根据光刻胶使用的材料类型来控制。光刻胶系统还具有一个全自动的过程控制单元,可以监视和跟踪机器的所有参数,以最高的质量和效率确保最佳的过程可重复性。该工具还具有各种数据记录功能和诊断实用程序,可准确描述整个光刻胶工艺。总之,DNS 80B光致抗蚀剂资产是一种先进的技术,为高精度光致抗蚀剂特性提供了优异的均匀性。凭借其自动化的过程控制模型、可靠的数据记录能力以及使用各种材料的能力,该设备能够以尽可能高的可重复性和质量实现高效生产。
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