二手 DNS / DAINIPPON 80B #9243276 待售

DNS/DAINIPPON 80B是一种革命性的光阻系统,专门为晶片级设备的生产提供卓越的性能。它是一种增强的化学机械工艺，结合了化学洗涤、纳米级低温退火程序和印记光刻方法，在微观和纳米结构的生产中赋予介电层极好的分辨率和粘附性能。化学过程需要从晶片表面去除天然氧化物，以便形成一个干净和粘附的层，确保光刻胶和器件层之间的理想结合。纳米级低温退火工艺通过锁定所需的特性，提高了器件层的稳定性和均匀性。结合印记光刻技术，DNS 80B系统有助于生产晶片刻度器件，具有极好的分辨率到55nm。该技术将超灵敏的光刻胶层与高度先进的设计模板结合在一起。光致抗蚀剂通过先进的自旋涂层工艺应用，并暴露于短暂的光脉冲中，以精确确定将产生的图样和相应结构。由于活化温度低，暴露区域在暴露后立即冷却下来。这样可以更好的模式控制、配准精度和边缘质量，同时还可以受益于低电气泄漏。此外，一个控制良好的蚀刻工艺使设备能够形成紧密的线宽和高度均匀的特征。最后，光致抗蚀剂在化学溶剂中剥离，使器件层得以应用。综上所述，DAINIPPON 80B光致抗蚀剂系统已被证明是一种可靠可靠的工艺，生产出性能更好的晶圆规模器件。其增强的化学机械工艺，结合先进的光刻方法，保证了极精细的分辨率和精湛的附着性能。这样可确保高性能设备具有卓越的均匀性和紧密的线宽。