二手 DNS / DAINIPPON 80B #9250084 待售

DNS / DAINIPPON 80B
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9250084
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
(2) Coater system, 6" 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON 80B是一种水基光刻设备,专为宽幅光刻应用而设计。该系统采用高分辨率的光敏乳剂,它对各种波长都是光敏的。光刻胶配制成在暴露于紫外线时产生非常精细的图桉。该单元由显影剂、粘合剂和四组分光致抗蚀剂溶液组成。显影剂是一种碱性溶液,用于冲洗掉暴露于暴露过程表面的任何多余的光刻胶,或者在不影响暴露过程的情况下增加额外的保护。粘合剂将光致抗蚀剂粘结到表面,并为蚀刻和其他工艺提供持久的图像。光致抗蚀剂溶液是一种具有光催化剂、敏化剂和稳定剂的光学活性乳剂。光催化剂提高光灵敏度,增加固体含量,而感光剂放大光催化剂的灵敏度。稳定剂延长保质期,提高抗蚀剂质量。机器有相对较宽的曝光窗口,允许曝光时间高达每平方英尺1.5分钟。这使得光刻成像具有很高的速度和质量,这对于广泛的印刷应用是必不可少的。此外,刀具的动态灵敏度允许精确表示各种颜色。成像过程依靠每种溶液和乳液的独特特性来提供一致的结果。通过将显影剂和粘合剂结合使用,使光致抗蚀剂层更稳定均匀。这就阻止了模煳图像的发展,这可能会导致不希望的模式。此外,感光剂和光催化剂之间的化学反应导致所需图样的精确表示。资产的碱性特性也有助于减少干燥过程所需的时间和温度。干燥过程的速度和温度对于避免材料出现条纹或变形至关重要。此外,无毒水性溶液消除了对若干危险化学品的需求,并提供了一个更加安全的工作环境。总体而言,DNS 80B模型是光刻应用的可靠、安全的选择.其广泛的曝光窗口和动态灵敏度提供了高质量的图像表示,而其水基乳液提供了一个快速和高效的打印过程。
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