二手 DNS / DAINIPPON 80B #9257028 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9257028
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
System, 8" 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON 80B是专门设计用于印刷/半导体工业的光刻设备。该系统是一个基于溶剂的单元,也是光刻领域的先进材料开发,可用于负极和正极光致抗蚀剂。DNS 80B的光致抗蚀剂由聚苯乙烯树脂和单体两种组分组成。聚苯乙烯树脂源自100%的苯乙烯单体,而单体由含有卤素材料的改性苯乙烯组成。使用这两个组件,可以定制材料的机械和化学性能,以满足特定的应用要求。光致抗蚀剂组合的组分在曝光时执行两项重要任务。首先,聚苯乙烯树脂吸收暴露(光)的能量,建立链条的交联。这会导致光刻胶硬化,并产生印在基板上所需的图桉。光刻胶中的单体负责不同的性质。当暴露在紫外线下时,会发生聚合反应,形成对破坏性酸、碱和其他溶剂具有高度抗性的复杂聚合物网络。这保证了光致抗蚀剂在暴露于半导体制造过程中使用的基本蚀刻和清洁过程时是稳定的。DAINIPPON 80B机的独特之处不仅在于其双组分聚合物结构,而且在于其成膜能力。它高度符合任何类型的基材,如铜、钨和钯。该工具可形成具有柔韧性和弹性的薄膜层,与基板具有良好的附着力。此外,这种资产对普通的光敏液体和溶剂具有很高的抵抗力。此外,80B也是一种无害环境的光致抗蚀剂。其设计符合日本环境省提出的严格环境安全要求,挥发性有机污染物排放量低于30ppm。这一模式符合所有实验室要求,并得到欧盟对某些工艺的批准。总体而言,DNS/DAINIPPON 80B光刻设备是光刻领域的先进材料开发,提供卓越的光学性能、优异的薄膜附着力和光学性能,以及环保的特点。该系统为要求苛刻的半导体应用提供了出色的光敏性能,并且可以在各种基板上产生广泛的图像。
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