二手 DNS / DAINIPPON 80B #9257470 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9257470
System.
DNS/DAINIPPON 80B是DNS屏幕制造有限公司生产的先进光刻设备。该系统设计用于半导体器件加工,包括光刻涂层基板、光掩模和光源等几个组件。该单元能够生成用于设备处理的高分辨率模式,分辨率为12 µm。它还能够产生细节非常精细的图桉,如0.25 µm。该机还可以设置为同时处理多达10个基板,节省时间和精力。工具的光敏涂层基板涂有含有光敏材料和酸源材料的液体。当底物受到紫外线照射时,这些化合物发生反应,酸源物质分解,导致在底物上发展出光致抗蚀剂图样。资产中使用的光掩码包含一个掩模模式--一系列的形状--这决定了模型产生的最终模式。遮罩图桉设计为允许光线在某些区域通过,在其他区域阻挡。设备使用的光源紫外线辐射波长为365nm。基板经受光源,然后用显影剂溶液显影,形成光刻胶图桉。系统产生的最终模式随后被转移到基板上。DNS 80B光敏装置已被证明是半导体器件加工的有效工具。它能够产生精细细节的高分辨率图样,可以设置为同时处理多个基板。本机是半导体器件生产过程中的重要组成部分。
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