二手 DNS / DAINIPPON 80BW #182508 待售

DNS/DAINIPPON 80BW是为7.5K和10K半导体制造工艺设计的高分辨率正光敏设备。该系统具有一种专有的先进的含聚合物正抗蚀剂，经过优化，可产生优越的临界尺寸（CD）控制和低粗糙度表面。它经过专门设计,可确保以最具挑战性的分辨率阵列的最高性能。该单元由三个组成部分组成：抗蚀剂材料、光敏涂层溶液和显影液。抗蚀剂是先进聚合物的专有配方，具有较高的分辨率、线条粗糙度和灵敏度。光致抗蚀剂涂层溶液被设计为涂覆均匀的抗蚀剂材料。这种光致抗蚀剂涂层溶液被配制成在目标基板上的均匀层中施加物理厚的抗蚀剂，允许在图样制作过程中获得尽可能高的分辨率。开发中的溶液被配制成快速和完全去除所需区域的光敏材料，同时最大限度地减少对底层基板的损害。开发解决方桉经过优化，在开发过程完成时提供了优越的模式分辨率、较短的周期时间和最小的残留量。当与最先进的光学曝光系统、准确和可重复的工具以及洁净室过程结合使用时,机器的性能最佳。这些元件共同创造出具有卓越线条边缘粗糙度、精确可重复尺寸、卓越线条分辨率、缩短开发时间的完整光刻系统。总之，DNS 80BW是为最具挑战性的光刻工艺而设计的先进的正光刻工具。该资产提供了卓越的临界尺寸控制、低粗糙度基板表面以及缩短的开发时间。此外，当与最先进的光学曝光系统和洁净室工艺结合使用时，该模型能够以最小的残留量产生更好的模式分辨率。