二手 DNS / DAINIPPON 80BW #9134993 待售

DNS/DAINIPPON 80BW是一种光阻设备，设计用于各种集成电路（IC）制造工艺，包括晶圆制造。该系统基于溶解在烯唑、甲酚和其他化学物质溷合物中的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）的化学成分。当暴露于紫外线（UV）辐射下，DNS 80BW发生光聚合反应，在晶圆表面上形成高阻力的聚合物层。该层用作保护性涂层，在进一步的IC制造过程中提供防止有害污染的保护，如金属或有机残留物。使用DAINIPPON 80BW作为光致抗蚀剂装置的主要优点包括在低能量剂量下的高分辨率、广泛的曝光时间和敏感性以及较高的整体分辨率。此外，还制定了快速干燥的80BW，减少了IC制造过程中污染和降解的风险。DNS/DAINIPPON 80BW中使用的晶片在暴露前必须清洁且无污染物。晶圆是辐射源中的第一位，在那里用紫外线辐射照射。根据所需的结果，晶片可能需要多次曝光。在曝光过程中，DNS中的光活性成分80BW发生化学变化，在晶片表面形成电阻层。然后可以使用蚀刻或类似技术进一步处理此层。在整个使用过程中,DAINIPPON 80BW已通过各种IC制造步骤的有效性测试。通常,使用机器生产的集成电路具有高分辨率、良好的表面水平和较低的蚀刻速率。此外,还注意到其相对较短的曝光时间和出色的分辨率。因此，80BW是一种广泛用于各种IC设计和用途的光刻工具。