二手 DNS / DAINIPPON MST-300A #9026249 待售

DNS/DAINIPPON MST-300A是一种先进的光刻设备,旨在提供微电子应用中的最佳分辨率和分辨率均匀性。该系统非常适合从晶圆步进器到直接成像系统的一系列应用。该装置采用一种称为多步薄膜沉积（MSTD）的自动化化学工艺，利用惰性气体向晶片输送精确的光刻胶配方，从而能够正确地开发出所需的图样。惰性气体是一种高纯度的光源,可实现高分辨率的成像和均匀性.MSTD过程产生的图像可重复性为+/-0.5 µm,超过24英寸晶圆。DNS MST-300A还配备了功率增强离子植入器,它使用精确的离子爆炸以受控和精确的方式对光刻胶进行分层,以创建亚微米特性。这台机器最多可以进行四次离子植入。该机器还配备了先进的曝光工具，配备25毫米汞弧灯，设计用于提供高分辨率图像。DAINIPPON MST-300A有一个内置的光掩模室，其中可以存储多个掩模，以便在曝光之间快速切换，资产最多可以同时执行四次曝光。MST-300A还具有优化的蚀刻和清洁模块，以确保高效和有效的光敏去除。该模块配有自动晶圆清洗模块，可有效清除污垢和残渣。最后,该型号采用了高强度的背面清洗选项。这样可以在处理之前彻底清洁晶片的背面。这样可以确保最终达到最高质量的效果。DNS/DAINIPPON MST-300A是一种最先进的光刻设备，能够在一系列微电子应用中产生高质量的图像和溶液。它是组织在微电子操作中注重高精度成像的理想系统。