二手 DNS / DAINIPPON RF3 #9213798 待售

DNS/DAINIPPON RF3是一种基于硝化纤维素、铬和高度敏感光敏材料的精密光刻设备。这种材料，简称DNS RF3，是日本DNS公司开发的一种专有树脂溷合物。一旦暴露在光线下，DAINIPPON RF3在基板上形成硬化层，然后可用于控制纳米级器件的分辨率、线宽和长宽比。RF3系统为在复杂结构上创建纳米级光刻图样提供了一种经济高效且精确的方法。该单元由DNS/DAINIPPON RF3树脂、铬和沉积在基板上的光敏材料组成。光敏材料吸收曝光光束的光能，与DNS RF3的反应产生一层硬化材料。这层硬化可以蚀刻在特定的图样，以提供所需的设计。该机还需要使用微型接触式打印机和精密面罩对准器。接触式打印机用于为光刻胶制备基材,方法是将铬和DAINIPPON RF3材料以正确的布置和正确的区域放置。然后使用掩模对齐器定位包含所需图样的光掩模以暴露于光束中。基板暴露后，开发出光致抗蚀剂，这是去除硬化材料区域以形成图样的过程。RF3工具的优点是提供精密光刻，与传统的光学光刻系统相比，成本只有一小部分。虽然不限于生产纳米级器件，但在这一领域，这一资产已被证明提供了出色的成果。该型号操作也相对简单，可用于微机械系统、印刷电子、显示器和成像光学等广泛应用。最后，DNS/DAINIPPON RF3设备为在复杂结构上创建纳米级光刻图样提供了一种经济高效的精确方法。过程相对简单，系统的优点是可以精确地用于广泛的应用。