二手 DNS / DAINIPPON RF3 #9360860 待售

DNS/DAINIPPON RF3是一种最先进的光刻设备，由光掩模技术领域的领导者DNS Inc.开发制造。该系统经过精心设计,能够在分辨率、线宽和对比度方面取得最佳效果,同时在高生产率和低环境影响方面提供卓越的性能。这种光致抗蚀剂单元由四个主要成分组成，即：1.光敏涂层：光敏涂层是机器中的第一步，用于用光敏涂层均匀涂覆光敏涂层基板。涂层具有可变的磁盘速度、真空卡盘和可选的快速更换功能,使用户能够快速轻松地在不同的光刻胶配方之间切换。2.曝光模块：曝光模块是该工具的第二步,用于用光曝光光掩模基板。它具有高能激光器,能够一次曝光光掩模的单个部分,并具有可变光束大小和自动聚焦功能,以提高分辨率。3.曝光后烘烤/烧掉模块：此模块是资产的第三步,具有用于曝光后烘烤的可渗透灯。如果需要,此模块还可用于烧掉光刻胶。4.开发模块：开发模组是模型中的最后一步,用于从光掩模基板中去除暴露的光刻胶。它具有流通性设计，可以在整个光掩模基板上实现一致甚至均匀的开发。总体而言,DNS RF3光刻胶设备经过精心设计,可提供卓越的精度、分辨率和对比度,同时还可在高生产规模上提供更高的性能。对于那些希望轻松地、精确地生产平版照相掩模的人来说，它是一个有效和经济高效的解决方桉。