二手 DNS / DAINIPPON RF3S #9392420 待售

製造商
DNS / DAINIPPON
模型
RF3S
ID: 9392420
晶圆大小: 12"
(5) Coater / (5) Developer system, 12" Does not include Hard Disk Drive (HDD).
DNS/DAINIPPON RF3S是一种自旋光致抗蚀剂工艺,在细螺距区域具有极好的分辨率,并且具有最小的纵横比损耗。它利用负色调抗蚀剂,采用类似自旋涂层的工艺应用于基板。该设备非常适合表面安装装置(SMD)和精细间距装置的应用,因为使用自旋处理具有较高的循环寿命和较高的透明度。DNS RF3S系统的光致抗蚀剂是一种苯基丙烯酸共聚物材料,通过自旋加工应用于基材。这提供了均匀的厚度和出色的分辨率。涂层中含有光敏材料,暴露于紫外线以激活曝光过程。然后开发抗蚀剂,它定义设备的阵列特征。该设备还具有高对比度显影剂,可提供出色的图像分辨率和高工程纬度。本文针对深腔型式设计,保证了窄线宽的边缘定义.它也是防水的,可以用来覆盖大面积的smaztmask衬里和岛屿。DAINIPPON RF3S还设计为与无Pb进程兼容。抗蚀剂具有极好的铜附着力,满足无铅和铅板组装工艺的要求。它也是低除气,具有低吸水性,以提高焊性。该机器提供出色的图像分辨率和宽广的处理窗口。它还具有较长的保质期和卓越的热稳定性。此外,抗蚀剂是一种通用工具,高度适用于所有类型的光刻板系统。总体而言,RF3S自旋光致抗蚀剂资产是SMD和精细螺距器件应用的绝佳解决方桉。它提供出色的分辨率,并且与含铅和无排行榜板装配过程高度兼容。该模型还可以与所有类型的光刻板系统一起使用,并提供宽广的工艺窗口和长保质期。
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