二手 DNS / DAINIPPON RF3S #9392802 待售

DNS/DAINIPPON RF3S是由光刻工具、机械和用品的知名供应商DNS SCREEN制造的光刻开发设备。它非常适合用于生产微电路、MEMS（微机电系统）和其他微米级结构。DNS RF3S光致抗蚀剂显影系统由三个部分组成：一个抗蚀剂材料、一个显影单元和一个剥影单元。抗蚀剂材料使用自旋涂层或化学气相沉积技术应用于基板，然后暴露于光。根据所需的图桉,光线直接从遮罩或光源产生。光线照射会导致抗蚀剂材料的结构发生变化，从而在基板上形成图桉化的抗蚀剂薄膜。开发的单元然后加工抗蚀剂材料以去除暴露的部分，剩余的图样抗蚀剂可以有选择地转移到基板上。然后剥离装置将不需要的抗蚀剂从基板上移出，只剩下有图样的抗蚀剂留在基板上。DAINIPPON RF3S光致抗蚀剂显影装置的优点是多方面的。它提供了出色的模式定义和分辨率，其线/空间分辨率分别为0.2 μ m（0.008mil）和0.1 μ m（0.004mil）。它还可以实现高度的平面化,这对于现代设备生产至关重要。此外,这台机器具有极好的易用性,而且价格合理。此外，它还可以无缝地集成到j-OTF-兼容光刻工具中。最后，使用内置的QC监视器可以方便地检查打印的抗蚀剂图样。该工具允许用户同时检查缺陷分辨率和图像质量。此外,它还通过自动对齐分辨率为0.2 μ m （0.008mil）的模式参考来实现高精度对齐。所有这些特性使其成为微电子器件制造的绝佳选择。