二手 DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV #9235498 待售

DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SC-60BW-AV
ID: 9235498
晶圆大小: 5"
优质的: 2011
Coater system, 5" 2011 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-60BW-AV光刻设备是一种在薄基板(如IC、光电子)和微机电(MEM)装置上蚀刻微小特征的高效系统。该单元采用双抗性工艺,其中抗性材料在化学上暴露于不同波长的光。这一过程改善了基材与光刻胶之间的粘附,从而改善了蚀刻特性。DNS SC-60BW-AV机器的工作原理是将光刻胶暴露在一束紫外线激光下。这会引起化学反应,有选择地蚀刻底物表面。激光的波长是可调的,以达到不同的蚀刻深度。该工具能够创建非常小的特征,如线条或点,宽度降低到几微米。为了确保精密蚀刻,资产的电阻材料必须适当调谐到所需的波长。光学反馈和精密光束控制相结合,使模型能够产生精确调谐的高精度抵抗模式。该设备还具有自动校准工艺,可根据所使用的材料快速调整蚀刻轮廓。系统还包含一个图像显示单元,该单元实时显示蚀刻结果。这使工程师能够快速评估蚀刻特征的质量,并进行必要的调整以获得所需的结果。为确保最大效率,DAINIPPON SC-60BW-AV光刻装置配备了先进的冷却机,有助于减少蚀刻过程中产生的热量。这有助于确保精密蚀刻,同时防止损坏基板.总体而言,SC-60BW-AV光刻工具是一种有效的工具,可以在薄薄的基板上蚀刻细微的特征。通过使用双抗蚀剂工艺和自动校准,工程师可以轻松快速创建精确的蚀刻模式。资产可靠、高效、美观,是薄基材蚀刻工艺的绝佳选择。
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