二手 DNS / DAINIPPON SC-80A-AVFG #9148240 待售

DNS Screen DNS/DAINIPPON SC-80A-AVFG光刻设备是一种先进的半导体器件光刻系统，设计用于半导体器件的高分辨率制造。其核心特点是其多通道曝光技术，允许在难以复制的结构如finFET和内存阵列中实现高均匀性和涂层可重复性。DNS SC-80A-AVFG单元使用多种聚焦在基板上的透镜,包括可变对焦变焦、f-theta和非球面透镜,这些透镜可产生多种阵列几何形状,以实现具有挑战性的设备几何形状。此外,一个独特的面罩传输测量机有助于确保准确放置暴露的图桉.DAINIPPON SC-80A-AVFG工具还包括1.3倍的高分辨率光掩码扫描仪，它允许掩模到掩模的对准精度高达一弧秒，同时考虑到由于掩模缺陷可能造成的图像变形。这允许在掩模之间进行精确的图样传输,从而在连续的光刻步骤中有效地使用掩模。此外，它的多渠道曝光能力允许精确控制未蚀刻图样的分辨率，具有高度的图样可重复性。其创新的打印优化算法确保了标线上的吞吐量最大化，同时确保了相同尺寸的图样之间的预定义的最佳均匀性，这是传统光刻系统的主要限制。SC-80A-AVFG还可以显示具有挑战性的模式,以创建独特而复杂的3D-structures,在一次曝光中,其最小特征大小为40 nm,最大特征大小为1000 um。其多波长、高稳定性的照明资产保证了模型曝光模式的准确性和可重复性，其光谱滤波功能允许UV波长从203 nm到300 nm。最后，其专门的软件套件结合了诊断和过程控制，以准确地检查和分析观测数据。它具有全自动操作以及实时查看结果的交互模式。这有助于开发最先进的产品以有效的方式进行优化，并使该设备成为现代半导体器件具有挑战性的光刻工艺的理想解决方桉。