二手 DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507 待售

DNS/DAINIPPON SC-80BW-AV光刻设备是一种全自动、高速晶片处理系统。该单元由四个主要组件组成：晶圆传输、旋转涂层单元、曝光单元和开发单元。晶圆传输将基板从晶圆装载机移动到旋转涂层单元。旋转涂层装置是一种高精度的装置，设计用于在基板上均匀分布抗蚀剂材料。曝光单元包含一个紫外线光源，用于有选择地曝光抗蚀剂涂层晶片的图样区域。它还配备了一个旋转的舞台，以方便这些花纹区域的曝光。开发单元的设计目的是去除抗蚀剂的暴露和未暴露部分。DNS SC-80BW-AV Photoresist Machine是一种高度精确的工具,旨在减少缺陷并提高吞吐量。该资产配备了直接图像感测和调整模型（DISA），以确保基板图样区域的高精度曝光。直接图像感测和调节设备监控晶圆的运动，然后相应调整紫外线光源的曝光。该系统有助于减少与抗蚀剂涂层不均匀相关的缺陷,从而提高吞吐量和产品质量。该单元还配备了自动抗蚀剂更换机（ARRS），以确保抗蚀剂材料的最高性能。ARRS持续监控基板的暴露、温度和湿度。然后自动调整抗蚀剂的浓度和成分，以保证性能的最高程度。此外，该工具还配备了动态热成像资产（DTI）。该模型旨在检测和测量涂层基板上的热活动，然后相应地调整自旋涂层单元的温度。这有助于降低基板加热或冷却不均匀造成缺陷形成的风险。总体而言,DAINIPPON SC-80BW-AV Photoresist Equipment是一个功能强大的自动化晶片处理系统,旨在通过最大吞吐量确保卓越的产品质量。它结合了直接图像感应和调节、自动抗蚀剂置换、动态热成像系统，有助于减少缺陷，优化吞吐量，最大限度地提高抗蚀剂的有效性。