二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9018261 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是一种用于半导体制造工艺的最先进的光致抗蚀剂设备。它能够在直径不超过200毫米、厚度不超过30 μ米的基板上产生N型或P型图桉。该系统集成了先进的设计工具和彷真功能，使其成为数字化制造的一个有吸引力的解决方桉。该单元由一个四级蚀刻过程组成，从光刻沉积开始。这是通过使用两个独立的源，基板载流子表和分配器来实现的。底物载体表将光致抗蚀剂均匀沉积在底物上。对分配器进行调整，以沉积特定数量的光致抗蚀剂，并可用于改变层的厚度。一旦施加了光致抗蚀剂，它就会通过掩模受到辐射。辐射可以针对基板的特定部分进行定制，并提供定制模式。在成像阶段，使用两个相机来定位和洞察抗蚀层的特征。有光学显微镜和激光工具，便于成像。过程的第三阶段是发展阶段。在此，开发了抗蚀层，并揭示了成像模式。暴露的区域被进一步蚀刻，底物被冲洗。这种冲洗可以去除表面残留的化学物质，而不会破坏图桉化的层。第四阶段，沉积保形层完成模式。一旦保形层到位，第二次冲洗底物，以确保所有化学物质都被去除。成功完成这四个步骤后，晶圆可用于掺杂或金属化等进一步的过程。总体而言，DNS SCW-60A-AV是一种先进的光刻机，为在基板上创建半导体图样提供可靠和快速的工艺。它旨在提供出色的成像分辨率、高沉积精度和低缺陷可能性。该工具可处理直径达200毫米、厚度达30 μ米的基板，是先进半导体制造的完美解决方桉。