二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9226210 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是一种先进的、功能齐全的光刻成像设备,专为高效处理微电子设备而设计。适用于广泛的应用，包括蒙版、光刻蚀刻、镀层。该系统具有自动曝光和开发单元（AED）,并带有各种用于各种应用的照片掩模光学元件。该机配备了真空抵抗成像窗口，提供了高度稳定的成像环境和高图像分辨率。这种成像工具的曝光范围很广，允许精确控制曝光剂量。对于掩蔽，该资产允许同时曝光多达13个眼镜。它还具有一个直接驱动的曝光模型，一个高效的反射镜和激光精确曝光控制。直接驱动设备还为诸如光掩模等基板光照图桉应用提供精确的曝光控制。系统还可以配置蚀刻模块。蚀刻模块使用先进的两级工艺将光刻胶蚀刻到基板上。第一阶段蚀刻光致抗蚀剂材料，第二阶段从基板上提起抗蚀剂。此蚀刻模块提供了高画质,同时对蚀刻速率进行了出色的控制.此外，该机还配备了先进的光阻剥离机。该刀具使用高频抗蚀剂剥离机从基板上剥离光抗蚀剂。这种资产对剥离率有很高的控制，对基材的损坏风险也很低。所有这些特性使DNS SCW-60A-AV模型成为微电子器件成像、蚀刻和电镀的理想解决方桉。其先进的特性，加上其全面的图像控制，使其成为研究和工业应用的理想工具。