二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV是用于制造集成电路和微电子的最先进的光刻设备。该系统基于直接写入电子束光刻工具。它能够使用电子束提供的亚微米分辨率精确写入光刻涂层晶片上。该单元还包括用于设计、模式布局和控制的软件。DNS SCW-60A-AV的电子束允许连续写入和批处理模式操作。在连续书写中，电子束被用来以恒定的速度直接暴露光抗蚀剂，以产生连续的网状图样。在分批模式下，可以创建一组独特的图样，电子束偏转在晶圆上生成图样。该机配备了由物镜、电子源和专用电光电路组成的集成光学工具。这种光学资产用于聚焦电子束，使一系列不同的分辨率得以使用。光学模型自动调整电子束，在暴露区域上保持恒定焦点。DAINIPPON SCW 60A AV能够写入最小线宽小于0.8微米、最小特征大小为0.4微米的模式。此外，电子束可以精确编程，产生具有指定间距的线型。这种能力确保光刻胶暴露于精确的电磁能量水平，从而产生高保真度的图样。DNS SC-W60A-AV还包括一个控制设备,用于在生产中优化性能。其软件包括模式大小验证和自动调平等功能。这样可以确保产生准确、可重复的模式。该系统还包括一些安全功能。其气体外壳配有压力传感器、电磁阀和紧急压力安全阀，确保与使用电子束光刻有关的潜在危险保持在最低限度。总体而言，SC-W60A-AV是一个强大、可靠和安全的光阻装置，用于创建复杂的集成电路和微电子设计。其直接写入电子束光刻能力，集成光学机器和控制功能，确保了精确、准确、可重复和安全的模式能够以最大的效率产生。