二手 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9251325 待售

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV光刻设备是一种先进的光刻系统，用于对微电子器件进行高精度和高速度的制图。其能力包括先进的薄膜和计量技术、全面的材料处理系统、高精度的光学系统、光刻胶处理。该单元非常适合制造MEMS（微机电系统）和IC（集成电路）生产中的超细线和套圈，以及其他工艺。该机配备了双波长共振激发激光器、维持偏振的光纤波纹管和全场投影透镜。即使对于非常复杂的模式,这也允许精确、可重复的曝光。该工具还配备了多轴级，可为广泛的微观光学成像应用提供精确、可重复的运动。该阶段还包括一个内置的索引功能，以确保准确和可重复的定位在一个大范围的模式。为确保抗蚀剂轮廓一致，资产与带真空疏散室的半自动晶片处理模型集成。在晶片曝光步骤中，设备操纵晶片以获得最佳的抗蚀性轮廓，这有助于提高产量。该系统还可用于阵列磁域，具有包括MEMS、IC、硬盘驱动器、平板显示器生产在内的广泛应用。为此，该单元与光学色散偏振仪集成，同时测量二维磁场强度。它还通过主动补偿与成像过程相关的热漂移来提供温度稳定控制。此外，该机还能够同时进行成像和计量操作，使用户能够将制造的设备质量与设计模型进行对比。这有助于提高最终产品的准确性和可靠性。总体而言,DNS SCW-60A-AV光刻工具是一种先进的光刻资产,功能广泛。其能力包括先进的薄膜和计量技术、全面的材料处理系统、高精度的光学系统、光刻胶处理。在MEMS和IC的生产过程中，它具有很强的磁场图样能力和高精度和高速度，是制造超细线圈的理想选择。